Rangelow, I W: шукати на сайті Z-Library

Найбільша колекція наукових статей у сіті. 70,000,000+ безкоштовних статей.

Пожертвування 15 вересня 2024 – 1 жовтня 2024

Z-Library - одна з найбільших онлайн-бібліотек у світі, в якій зберігається більше 17,000,000 книг та 84,837,000 статей. Ми намагаємось зробити літературу доступною кожному. Сьогодні (15 вересня 2024) ми відкриваємо додатковий збір пожертвувань на підтримку та розвиток проекту.

Також БЕЗЛІМТНІ завантаження (протягом 31 дня після завершення пожертвування) доступні для ВСІХ користувачів, які підтримають проект в період збору коштів до 1 жовтня 2024.

Про збір коштів Детальніше

Підтримати

Книги
Статті (268)
Найпопулярніші
Перелік
- Перелік
- Таблиця

Components for high speed atomic force microscopy

Georg E. Fantner, Georg Schitter, Johannes H. Kindt, Tzvetan Ivanov, Katarina Ivanova, Rohan Patel, Niels Holten-Andersen, Jonathan Adams, Philipp J. Thurner, Ivo W. Rangelow, Paul K. Hansma

Журнал:

Ultramicroscopy

Рік:

2006

Мова:

english

Файл:

PDF, 582 KB

english, 2006

Nanolithography by scanning probes on calixarene molecular glass resist using mix-and-match lithography

Kaestner, Marcus, Hofer, Manuel, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 8.75 MB

english, 2013

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San Jose, California (Sunday 21 February 2010)] Alternative Lithographic Technologies II - Nanoprobe maskless lithography

Rangelow, Ivo W., Ivanov, Tzvetan, Sarov, Yanko, Schuh, Andreas, Frank, Andreas, Hartmann, Hans, Zöllner, Jens-Peter, Olynick, Dierdre L., Kalchenko, V., Herr, Daniel J. C.

Рік:

2010

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.50 MB

english, 2010

High-throughput process chain for single electron transistor devices based on field-emission scanning probe lithography and Smart Nanoimprint lithography technology

Lenk, Claudia, Krivoshapkina, Yana, Hofmann, Martin, Lenk, Steve, Ivanov, Tzvetan, Rangelow, Ivo W., Ahmad, Ahmad, Reum, Alexander, Holz, Mathias, Glinsner, Thomas, Eibelhuber, Martin, Treiblmayr, Dom

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 5.69 MB

english, 2019

On the solution of the problem of seismic waves propagation in a multilayered nonelastic region by the BEM

P. Dineva, L. Hadjikov, Ts. Rangelow

Журнал:

Soil Dynamics and Earthquake Engineering

Рік:

1991

Мова:

english

Файл:

PDF, 526 KB

english, 1991

A novel piezoresistive microprobe for atomic and lateral force microscopy

Teodor Gotszalk, P.B. Grabiec, I.W. Rangelow

Журнал:

Sensors and Actuators A: Physical

Рік:

2005

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.03 MB

english, 2005

Reactive ion etching for high aspect ratio silicon micromachining

I.W. Rangelow

Журнал:

Surface and Coatings Technology

Рік:

1997

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.39 MB

english, 1997

Etching processes for High Aspect Ratio Micro Systems Technology (HARMST)

R. Kassing, I. W. Rangelow

Журнал:

Microsystem Technologies

Рік:

1996

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.55 MB

english, 1996

Profile simulation model for sub-50 nm cryogenic etching of silicon using SF6/O2 inductively coupled plasma

Ishchuk, Valentyn, Olynick, Deirdre L., Liu, Zuwei, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Journal of Applied Physics

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.00 MB

english, 2015

Field-emission scanning probe lithography tool for 150 mm wafer

Holz, Mathias, Guliyev, Elshad, Ahmad, Ahmad, Ivanov, Tzvetan, Reum, Alexander, Hofmann, Martin, Lenk, Claudia, Kaestner, Marcus, Reuter, Christoph, Lenk, Steve, Rangelow, Ivo W., Nikolov, Nikolay

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 7.39 MB

english, 2018

[IEEE 2019 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM) - Ilmenau, Germany (2019.3.18-2019.3.20)] 2019 IEEE International Conference on Mechatronics (ICM) - Active Cantilevers with Diamond-Tip for Field Emission Scanning Probe Lithography and Imaging

Hofmann, Martin, Mechold, Stephan, Holz, Mathias, Ahmad, Ahmad, Ivanonv, Tzvetan, Rangelow, Ivo W.

Рік:

2019

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.28 MB

english, 2019

Characterization of a cantilever with an integrated deflection sensor

R. Linnemann, T. Gotszalk, L. Hadjiiski, I.W. Rangelow

Журнал:

Thin Solid Films

Рік:

1995

Мова:

english

Файл:

PDF, 770 KB

english, 1995

Application of neural networks to a scanning probe microscopy system

L. Hadjiiski, R. Linnemann, M. Stopka, E. Oesterschulze, I. Rangelow, R. Kassing

Журнал:

Thin Solid Films

Рік:

1995

Мова:

english

Файл:

PDF, 799 KB

english, 1995

SIMS and AES investigations of contamination effects by RIE of PIQ layers

I.W. Rangelow, K. Maβeli, L. Niewöhner, R. Kassing, W. Pilz

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1985

Мова:

english

Файл:

PDF, 586 KB

english, 1985

Computer simulation of pattern profiles through physical etching with shadow, trenching, and redeposition

I.W. Rangelow, P. Thoren, R. Kissing

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1985

Мова:

english

Файл:

PDF, 857 KB

english, 1985

Nano-resolution tri-level process by downstream- microwave rf-biased etching

I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1992

Мова:

english

Файл:

PDF, 337 KB

english, 1992

MEMS fabrication by Lithography and Reactive Ion Etching (LIRIE)

I.W. Rangelow, P. Hudek

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1995

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.33 MB

english, 1995

Strategies for integration of donor electron spin qubits in silicon

T. Schenkel, J.A. Liddle, J. Bokor, A. Persaud, S.J. Park, J. Shangkuan, C.C. Lo, S. Kwon, S.A. Lyon, A.M. Tyryshkin, I.W. Rangelow, Y. Sarov, D.H. Schneider, J. Ager, R. de Sousa

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2006

Мова:

english

Файл:

PDF, 241 KB

english, 2006

Characterization of an electro-thermal micro gripper and tip sharpening using FIB technique

A. Deutschinger, U. Schmid, M. Schneider, W. Brenner, H. Wanzenböck, B. Volland, Tzv. Ivanov, I. W. Rangelow

Журнал:

Microsystem Technologies

Рік:

2010

Мова:

english

Файл:

PDF, 576 KB

english, 2010

Ion-beam etching, and chemically-assisted ion-beam etching to produce x-ray masks for synchrotron-radiation-lithography

I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1985

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.20 MB

english, 1985

Chromium nano-width ribbons by standard lithography and wet etching

Michal Zaborowski, Piotr Grabiec, Ivo W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2004

Мова:

english

Файл:

PDF, 453 KB

english, 2004

High aspect ratio silicon tips field emitter array

I.W. Rangelow, St. Biehl

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2001

Мова:

english

Файл:

PDF, 256 KB

english, 2001

SNOM/AFM microprobe integrated with piezoresistive cantilever beam for multifunctional surface analysis

P. Grabiec, T. Gotszalk, J. Radojewski, K. Edinger, N. Abedinov, I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2002

Мова:

english

Файл:

PDF, 685 KB

english, 2002

Electrostatically driven microgripper

B.E. Volland, H. Heerlein, I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2002

Мова:

english

Файл:

PDF, 961 KB

english, 2002

Ultrasharp diamond-coated silicon tips for scanning-probe devices

E.I. Givargizov, A.N. Stepanova, E.S. Mashkova, V.A. Molchanov, F Shi, P. Hudek, I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1998

Мова:

english

Файл:

PDF, 344 KB

english, 1998

Fabrication of multipurpose AFM/SCM/SEP microprobe with integrated piezoresistive deflection sensor and isolated conductive tip

T. Gotszalk, P. Grabiec, F. Shi, P. Dumania, P. Hudek, I.W. Rangelow

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

1998

Мова:

english

Файл:

PDF, 398 KB

english, 1998

Increased imaging speed and force sensitivity for bio-applications with small cantilevers using a conventional AFM setup

Michael Leitner, Georg E. Fantner, Ernest J. Fantner, Katerina Ivanova, Tzvetan Ivanov, Ivo Rangelow, Andreas Ebner, Martina Rangl, Jilin Tang, Peter Hinterdorfer

Журнал:

Micron

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.07 MB

english, 2012

Single mask fabrication process for movable MEMS devices

Alamin Dow, Ali B., Gougam, Adel, Kherani, Nazir P., Rangelow, I. W.

Журнал:

Microsystem Technologies

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 447 KB

english, 2014

Microthermomechanical infrared sensors

Steffanson, M., Rangelow, I. W.

Журнал:

Opto-Electronics Review

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.30 MB

english, 2014

ViPER: simulation software for high aspect ratio plasma etching of silicon

Ishchuk, Valentyn, Volland, Burkhard E., Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Microsystem Technologies

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 637 KB

english, 2014

[IEEE 27th European Microwave Conference, 1997 - Jerusalem, Israel (1997.10.4-1997.10.6)] 27th European Microwave Conference, 1997 - Air Bridge Based Planar Hybrid Technology for Microwave and Millimeterwave Applications

Wasige, E., Kompa, G., van Raay, F., Schmale, I., Rangelow, I.W., Scholz, W., Shi, F., Kassing, R., Meyer, R., Amann, M.-C., Hudek, P.

Рік:

1997

Мова:

english

Файл:

PDF, 289 KB

english, 1997

Profile evolution of Cr masked features undergoing HBr-inductively coupled plasma etching for use in 25 nm silicon nanoimprint templates

Olynick, Deirdre L., Liddle, J. Alexander, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2005

Мова:

english

Файл:

PDF, 766 KB

english, 2005

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Scanning Microscopies - Monterey, California, United States (Tuesday 16 September 2014)] Scanning Microscopies 2014 - Shear force microscopy using piezoresistive cantilevers in surface metrology

Postek, Michael T., Newbury, Dale E., Platek, S. Frank, Maugel, Tim K., Gotszalk, Teodor, Kopiec, Daniel, Sierakowski, Andrzej, Janus, Paweł, Grabiec, Piotr, Rangelow, Ivo W.

Рік:

2014

Мова:

english

Файл:

PDF, 729 KB

english, 2014

Multi-eigenmode control for high material contrast in bimodal and higher harmonic atomic force microscopy

Schuh, Andreas, Bozchalooi, Iman Soltani, Rangelow, Ivo W, Youcef-Toumi, Kamal

Журнал:

Nanotechnology

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 6.22 MB

english, 2015

Fabrication of self-actuated piezoresistive thermal probes

Hofer, Manuel, Ivanov, Tzvetan, Rudek, Maciej, Kopiec, Daniel, Guliyev, Elshad, Gotszalk, Teodor P., Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.61 MB

english, 2015

Improved single ion implantation with scanning probe alignment

Ilg, Michael, Weis, Christoph D., Schwartz, Julian, Persaud, Arun, Ji, Qing, Chi Lo, Cheuk, Bokor, Jeffrey, Hegyi, Alex, Guliyev, Elshad, Rangelow, Ivo W., Schenkel, Thomas

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 1017 KB

english, 2012

Fast atomic force microscopy with self-transduced, self-sensing cantilever

Ahmad, Ahmad, Ivanov, Tzvetan, Angelov, Tihomir, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Journal of Micro/Nanolithography MEMS and MOEMS

Рік:

2015

Мова:

english

Файл:

PDF, 4.68 MB

english, 2015

Scanning proximal probe lithography for sub-10 nm resolution on calix[4]resorcinarene

M. Kaestner, I. W. Rangelow

Рік:

2011

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.26 MB

english, 2011

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San Jose, California (Sunday 12 February 2012)] Alternative Lithographic Technologies IV - Multi-step Scanning Probe Lithography (SPL) on calixarene with overlay alignment

Kaestner, M., Rangelow, I. W., Tong, William M.

Рік:

2012

Мова:

english

Файл:

PDF, 1007 KB

english, 2012

DMCMN: In Depth Characterization and Control of AFM Cantilevers With Integrated Sensing and Actuation

Fantner, Georg E., Burns, Daniel J., Belcher, Angela M., Rangelow, Ivo W., Youcef-Toumi, Kamal

Журнал:

Journal of Dynamic Systems Measurement and Control

Рік:

2009

Мова:

english

Файл:

PDF, 908 KB

english, 2009

Tip Motion—Sensor Signal Relation for a Composite SPM/SPL Cantilever

Roeser, Dennis, Gutschmidt, Stefanie, Sattel, Thomas, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Journal of Microelectromechanical Systems

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.20 MB

english, 2016

[IEEE 1997 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest - Denver, CO, USA (8-13 June 1997)] 1997 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest - Air bridge based planar hybrid technology for microwave and millimeterwave applications

Wasige, E., Kompa, G., van Raay, F., Rangelow, I.W., Scholz, W., Shi, F., Kassing, R., Meyer, R., Amann, M.-C.

Рік:

1997

Мова:

english

Файл:

PDF, 707 KB

english, 1997

SPIE Proceedings [SPIE SPIE Advanced Lithography - San Jose, California, USA (Sunday 24 February 2013)] Alternative Lithographic Technologies V - Mix & match electron beam & scanning probe lithography for high throughput sub-10 nm lithography

Kaestner, Marcus, Tong, William M., Resnick, Douglas J., Hofer, Manuel, Rangelow, Ivo W.

Рік:

2013

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.82 MB

english, 2013

SPIE Proceedings [SPIE Micromachining and Microfabrication '96 - Austin, TX (Monday 14 October 1996)] Micromachining and Microfabrication Process Technology II - Chemically amplified deep UV resists for micromachining

Hudek, Peter, Rangelow, Ivo W., Kostic, Ivan, Grabiec, Piotr B., Shi, Feng, Pang, Stella W., Chang, Shih-Chia

Рік:

1996

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.04 MB

english, 1996

Low temperature dry etching of chromium towards control at sub-5 nm dimensions

Staaks, Daniel, Yang, XiaoMin, Lee, Kim Y, Dhuey, Scott D, Sassolini, Simone, Rangelow, Ivo W, Olynick, Deirdre L

Журнал:

Nanotechnology

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.26 MB

english, 2016

Six-axis AFM in SEM with self-sensing and self-transduced cantilever for high speed analysis and nanolithography

Angelov, Tihomir, Ahmad, Ahmad, Guliyev, Elshad, Reum, Alexander, Atanasov, Ivaylo, Ivanov, Tzvetan, Ishchuk, Valentyn, Kaestner, Marcus, Krivoshapkina, Yana, Lenk, Steve, Lenk, Claudia, Rangelow, Ivo

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2016

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.53 MB

english, 2016

Magnetoelectric versus thermal actuation characteristics of shear force AFM probes with piezoresistive detection

Sierakowski, Andrzej, Kopiec, Daniel, Majstrzyk, Wojciech, Kunicki, Piotr, Janus, Paweł, Dobrowolski, Rafał, Grabiec, Piotr, Rangelow, Ivo W, Gotszalk, Teodor

Журнал:

Measurement Science and Technology

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 3.16 MB

english, 2017

Simulation of field emission from volcano-gated tips for scanning probe lithography

Lenk, Steve, Kaestner, Marcus, Lenk, Claudia, Rangelow, Ivo W.

Журнал:

Microelectronic Engineering

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 1.28 MB

english, 2017

Review Article: Active scanning probes: A versatile toolkit for fast imaging and emerging nanofabrication

Rangelow, Ivo W., Ivanov, Tzvetan, Ahmad, Ahmad, Kaestner, Marcus, Lenk, Claudia, Bozchalooi, Iman S., Xia, Fangzhou, Youcef-Toumi, Kamal, Holz, Mathias, Reum, Alexander

Журнал:

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

Рік:

2017

Мова:

english

Файл:

PDF, 5.07 MB

english, 2017

Thermomechanically and electromagnetically actuated piezoresistive cantilevers for fast-scanning probe microscopy investigations

Majstrzyk, W., Ahmad, A., Ivanov, Tzv., Reum, A., Angelow, T., Holz, M., Gotszalk, T., Rangelow, I.W.

Журнал:

Sensors and Actuators A: Physical

Рік:

2018

Мова:

english

Файл:

PDF, 2.53 MB

english, 2018